涂硼專用設(shè)備由冷藏柜、通風(fēng)柜和涂硼工裝組成,用于堆用探測(cè)器的表面涂硼,設(shè)備滿足涂硼化學(xué)試劑的存儲(chǔ),同時(shí)滿足涂硼過(guò)程中化學(xué)試劑揮發(fā)的排放需求,設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)涂硼溶液的自動(dòng)配置和涂硼時(shí)間的自動(dòng)控制。
涂硼專用設(shè)備特點(diǎn):
涂硼工裝的通用性強(qiáng),可以滿足堆用探測(cè)器不同尺寸的工件需求。
設(shè)備具有重要工藝過(guò)程參數(shù)的自動(dòng)采集、記錄、存儲(chǔ)、輸出的功能。